睿励科学仪器（上海）申请承载平台平整度测定方法及装置、存储介质专利，可提高系统的性能及稳定性

2024 年 8 月 30 日消息，天眼查知识产权信息显示，睿励科学仪器（上海）有限公司申请一项名为“承载平台平整度测定方法及装置、存储介质“，公开号 CN202410593292.8 ，申请日期为 2024 年 5 月。
专利摘要显示，本发明公开了一种承载平台平整度测定方法及装置、存储介质，其中方法包括：获取承载平台分别位于参考高度以及多个图像获取高度时承载平台上待测样品的样品图像数据，并计算每个图像模块的图像对比度；将所有样品图像数据中，对应待测样品中相同模块位置的所有图像模块的图像对比度进行对比，以获取待测样品中每个模块位置的最佳焦面高度；将待测样品每个模块位置的最佳焦面高度分别与参考高度做差，以获取每个模块位置对应的焦距高度差，基于所有模块位置对应的焦距高度差判定承载平台的平整度。本发明可快速有效的承载平台表面平整度，进而可提高系统的性能及稳定性。